| 亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定 |
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| 引用本文： | 张泰华, 郇勇, 王秀兰. 亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定[J]. 力学学报, 2003, 35(4). DOI: 10.6052/0459-1879-2003-4-2003-002 |
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| 作者姓名： | 张泰华 郇勇 王秀兰 |
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| 作者单位： | 中科院力学所非线性力学国家重点实验室,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(10242001和10172086),中国科学院知识创新工程重要方向资助项目(KJCX2-SW-L2)~~ |
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| 摘 要： | 采用等离子电弧沉积的方法, 分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5$\\mu$m 的氮化钛(TiN)膜. 为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术, 评价膜基界面结合和固体润滑效果. 纳米压痕结果,GT35, 40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为 11.5GPa/330GPa, 6.0GPa/210GPa, 30GPa/450GPa. 纳米划痕结果,GT35有较理想的膜基结合能力;GT35, 40CrNiMo, TiN及其有机膜的摩擦系数分别约为0.25, 0.45, 0.15, 0.10. 同40CrNiMo相比,GT35是较为理想的基体材料. 纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息,是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段.
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| 关 键 词： | 纳米压痕 纳米划痕 氮化钛 微力学性能 摩擦性能 |
| 修稿时间： | 2003-01-12 |
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