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| 光学膜层激光预处理过程研究 | |
| 引用本文： | 蒋晓东, 黄祖鑫, 任寰, 等. 光学膜层激光预处理过程研究[J]. 强激光与粒子束, 2002, 14(03). |
| 作者姓名： | 蒋晓东 黄祖鑫 任寰 彭净 叶琳 唐灿 |
| 作者单位： | 1.中国工程物理研究院 激光 聚变研究中心, 四川 绵阳 621 900 |
| 摘 要： | 光学元件经过激光预处理后,其抗激光破坏能力最大提高2倍以上,系统研究激光预处理机理和工艺,能安全可靠地提高光学元件损伤阈值,提升高功率激光系统的能量密度。研究了几种sol gel膜、PVD膜在预处理前后膜层表面的变化（损伤形貌）以及损伤阈值的增幅,发现预处理过程膜层仍然发生了一定程度的轻微损伤,这种损伤和膜层本身缺陷、激光参数密切相关,预处理过程可逐步消除膜层缺陷。 |
| 关 键 词： | 光学膜层 激光预处理 损伤形貌 |
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