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| YBCO大面积超导薄膜沉积工艺与微结构研究 | |
| 作者姓名： | 王小平 王瑞坤 刘援 古宏伟 袁冠森 郝建民 温业礼 |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院,北京,100088;电子工业部第四十六所,天津,300192 |
| 基金项目： | 国家超导研究与开发中心资助 |
| 摘 要： | 采用中空柱状阴极直流磁控溅射方法制备了大面积ＹＢＣＯ超导薄膜。应用ＸＲＤ方法,对在３０×３０ｍｍ＾２ＬａＡｌＯ３衬底上沉积的ＹＢＣＯ薄膜进行了结晶完整性、均匀性的测定。对同一样品,使用透射电子显微镜对薄膜和衬底间的界面进行了研究。 |
| 关 键 词： | 超导薄膜 沉积 微结构 衬底 结晶 |
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