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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
氟化类金刚石薄膜的拉曼和红外光谱结构研究
作者姓名:
江美福
宁兆元
作者单位:
苏州大学物理科学与技术学院,苏州,215006
基金项目:
国家自然科学基金(批准号:10175048)资助的课题.
摘 要:
关键词
:
关 键 词:
反应磁控溅射
氟化类金刚石薄膜
拉曼光谱
红外吸收光谱
文章编号:
1000-3290/2004/53(05)/1588-06
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