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氟化类金刚石薄膜的拉曼和红外光谱结构研究
作者姓名:江美福  宁兆元
作者单位:苏州大学物理科学与技术学院,苏州,215006
基金项目:国家自然科学基金(批准号:10175048)资助的课题.
摘    要:关键词

关 键 词:反应磁控溅射  氟化类金刚石薄膜  拉曼光谱  红外吸收光谱
文章编号:1000-3290/2004/53(05)/1588-06
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