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| 透明基底表面双向反射分布函数及粗糙度特性研究 | |
| 作者姓名： | 潘永强 吴振森 |
| 作者单位： | 1.西安工业大学 光电工程学院,西安,710032 |
| 摘 要： | 采用双向反射分布函数定量分析透明基底表面粗糙度,考虑到透明基底第二个界面的影响,从不透明基底双向反射分布函数入手,推导了实际测量的透明基底表面双向反射分布函数的表达式.依据此理论提出了通过分别测量两个表面的散射强度来联立求解透明基底实际表面反射分布函数和表面粗糙度谱的新方法.并将此结果与用原子力显微镜测量所获得的结果进行了比较,两者吻合较好. |
| 关 键 词： | 双向反射分布函数 表面粗糙度谱 透明基底 |
| 收稿时间： | 2007-01-10 |
| 修稿时间： | 2007-03-09 |
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