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氢化非晶锗碳薄膜中的自旋缺陷态
引用本文:陈光华,于工,张仿清,吴天喜. 氢化非晶锗碳薄膜中的自旋缺陷态[J]. 物理学报, 1992, 41(10): 1700-1705
作者姓名:陈光华  于工  张仿清  吴天喜
作者单位:兰州大学物理系,兰州730001
摘    要:
本文应用原位电子自旋共振(ESR)技术研究了射频反应溅射法制备的氢化非晶锗碳(a-Ge1-xCx:H)薄膜中自旋缺陷态的种类、密度、温度依赖关系和热力学动态行为。在分解ESR谱的过程中,发现了它的不对称成分,并对此进行了定量分析和微观机理的探讨。关键词

关 键 词:氢化 薄膜 无定形半导体 缺陷 错
收稿时间:1991-10-17

SPIN DEFECT STATES IN HYDROGENATED AMORPHOUS GERMANIUM-CARBON FILMS
CHEN GUANG-HUA,YU GONG,ZHANG FANG-QING and WU TIAN-XI. SPIN DEFECT STATES IN HYDROGENATED AMORPHOUS GERMANIUM-CARBON FILMS[J]. Acta Physica Sinica, 1992, 41(10): 1700-1705
Authors:CHEN GUANG-HUA  YU GONG  ZHANG FANG-QING  WU TIAN-XI
Abstract:
Using in situ electron spin resonance(ESR) technique, we have studied the type, the density, the temperature dependence and the thermal dynamic behavior of defects in rf-reactively sputtered a-Ge1-xCx: H films. In the decomposition process of the ESR spectra, we found that the spectra have an asymmetrical component. Quantitative analysis of the component and the explanation of its origin are given.
Keywords:
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