一种自组装的长程有序纳米模式 |
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引用本文: | 黄畇.一种自组装的长程有序纳米模式[J].物理,2012,41(3):186-187. |
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作者姓名: | 黄畇 |
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作者单位: | 北京大学 |
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摘 要: | 根据Moore定律,微处理器的能力可以按指数方式快速提高,数据存储能力的提高也以相似的方式增长,所以这已经成为进一步提高光刻技术的关键点.尖端光刻技术已经允许器件的特征长度可以比用来制作它们的光波波长还要短.例如,相干效应可被用于具有超紫外光线特性的50nm模式上1].但是想要继续在成本与效益方面有所改善,可能性很小,所以Moore定律与光刻技术将会不可避免地分道扬镳.
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关 键 词: | 长程有序 Moore定律 自组装 纳米 光刻技术 存储能力 微处理器 光波波长 |
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