| 基于相干调制成像的光学检测技术 |
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| 作者姓名： | 葛银娟 潘兴臣 刘诚 朱健强 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院高功率激光物理重点实验室中国科学院上海光学精密机械研究所;2. 中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室;3. 上海科技大学物质科学与技术学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:61827816,11875308,61675215)；;上海市“科技创新行动计划”(批准号:19142202600)资助的课题~~； |
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| 摘 要： | 作为相干衍射成像技术的一种,相干调制成像(coherent modulation imaging, CMI)是一种无透镜相位成像技术,不同于多光斑相位恢复技术,通过引入已知的强波前调制, CMI可以实现单次曝光下对入射波前的快速重建,同时结构简单不需要参考光.除了能够用于相位成像、解决脉冲光束的在线测量问题外,本文将其用于精密光学元件(峰谷值(peak value, PV)≤0.5l, l=632.8 nm)的面型检测.为验证其测量能力,对10片口径80 mm、PV值介于0.1l和0.5l之间的石英窗口进行了重复测量,相比于商业干涉仪的测量结果,CMI算法测量结果的峰谷比值的标准偏差是0.0305l (l=632.8 nm),均方根(root-mean-square, RMS)的标准偏差为0.0052l,对于PV和RMS的测量精度可达到0.1l和0.01l,为研究其极限性能,同时对PV=l/20的平行平晶进行了对比测量,分析了其噪声来源,考虑到CMI测量算法仍有很大的改进空间,其有望成为一种区别于干涉测量的新型高精度光学元件检测技术.
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| 关 键 词： | 相位恢复 迭代引擎 光学计量 相干衍射成像 |
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