| 绒面ZnO透明导电薄膜 |
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| 引用本文： | 朱锋,薛玉明,孙建,赵颖,耿新华. 绒面ZnO透明导电薄膜[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(3): 419-421,427 |
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| 作者姓名： | 朱锋 薛玉明 孙建 赵颖 耿新华 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子所,天津,300071;南开大学光电子所,天津,300071;南开大学光电子所,天津,300071;南开大学光电子所,天津,300071;南开大学光电子所,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家科技部重大基础研究项目 ( 973 )资助 (No .G2 0 0 0 0 2 82 0 3,G2 0 0 0 0 2 82 0 2 ) |
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| 摘 要： | 采用孪生ZnO (Al2 O3 ∶2 % )对靶直流磁控溅射制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜 (迁移率为 5 .5 6cm2 /V·s,载流子浓度为 4 .5 7× 10 2 0 cm-3 ,电阻率为 2 .4 6× 10 -3 Ω·cm ,可见光范围 (380～ 80 0nm)平均透过率大于 85 % )。用酸腐蚀的方法 ,可以获得绒面效果 ,而反应气压对绒面效果没有影响 ,薄膜的电学特性没有变化 ,绒面对光散射作用增强 ,导致相对于平面ZnO薄膜的透过率要低一些 (可见光范围平均透过率大于 80 % )。
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| 关 键 词： | 孪生对靶 直流磁控溅射 ZnO 透明导电薄膜 绒面 |
| 文章编号： | 1000-985X(2004)03-0419-03 |
Textured ZnO Transparent Conductive Thin Film |
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| ZHU Feng,XUE Yu-ming,SUN Jian,ZHAO Ying,GENG Xin-hua. Textured ZnO Transparent Conductive Thin Film[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2004, 33(3): 419-421,427 |
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| Authors: | ZHU Feng XUE Yu-ming SUN Jian ZHAO Ying GENG Xin-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | twin targets reactive DC magnet sputtering ZnO transparent conductive film textured film |
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