| Freeman离子源的特性与改进研究 |
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| 引用本文： | 孙官清 郑思孝. Freeman离子源的特性与改进研究[J]. 原子与分子物理学报, 1994, 11(4): 433-437 |
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| 作者姓名： | 孙官清 郑思孝 |
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| 作者单位： | 四川联合大学原子核科学技术研究所 |
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| 摘 要： | 此文简要叙述用于离子束材料改性装置的Ｆｒｅｅｍａｎ离子源的特性，其主要参数：灯丝电流、孤压、磁场、气流量和吸极电压与引出离子束流强的关系。对源体内部因微漏冷却水（真空度由３．９×１０－４降至４．２×１０－４Ｐａ）致使气体分子电离、起弧困难和等离子体不稳作了实验研究；对灯丝与弧室间的氮化硼绝绝物上沉积被溅射出的Ｗ、Ｍｏ原子导致绝缘下降、灯丝寿命缩短进行了部份结构改进。结果表明，提高加工工艺，确保真空系统密封性能和输入气体纯度对弧室内气体分子碰撞电离和等离子体的稳定至关重要；在ＢＮ绝缘物上放置钼制屏蔽罩有效地屏蔽掉Ｗ、ＭＯ原子沉积使灯丝寿命延长一倍，达到了４０小时。
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| 关 键 词： | 离子源 等离子体 气体电离 参数 工作特性 |
CHARACTERISTICS AND IMPROVEMENT OF FREEMAN IN ION SOURCE |
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| Sun Guanqing, Zheng Sixiao,Liu Zhongyang,Wang peilu, Jiang Jingyun, Liao Xjaotong. CHARACTERISTICS AND IMPROVEMENT OF FREEMAN IN ION SOURCE[J]. Journal of Atomic and Molecular Physics, 1994, 11(4): 433-437 |
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| Authors: | Sun Guanqing Zheng Sixiao Liu Zhongyang Wang peilu Jiang Jingyun Liao Xjaotong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ion source Plasma Ionization of gas |
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