| 扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干技术问题 |
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| 引用本文： | 谷坤明,汤皎宁,李冀,吴深业.扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干技术问题[J].物理实验,2007,27(2):11-15. |
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| 作者姓名： | 谷坤明 汤皎宁 李冀 吴深业 |
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| 作者单位： | 1. 深圳大学,材料学院,深圳市特种功能材料重点实验室,广东,深圳,518060
2. 深圳大学,光电子研究所,广东,深圳,518060 |
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| 摘 要： | 扫描探针显微镜已经成为材料纳米摩擦学研究的主要工具之一,本文探讨了扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干测试技术问题,并用摩擦力显微镜对DLC薄膜的纳米摩擦学行为进行了研究.
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| 关 键 词： | 纳米摩擦学 扫描探针显微镜 测试技术 |
| 文章编号： | 1005-4642（2007）02-0011-05 |
| 修稿时间： | 2006-09-22 |
Application of SPM in nano-tribology: some technical aspects |
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| GU Kun-ming,TANG Jiao-ning,LI Ji,WU Shen-ye.Application of SPM in nano-tribology: some technical aspects[J].Physics Experimentation,2007,27(2):11-15. |
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| Authors: | GU Kun-ming TANG Jiao-ning LI Ji WU Shen-ye |
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| Institution: | 1. Shenzhen Key Laboratory of Special Functional Materials, College of Material Science and Engineering, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China 2. Institute of Optoelectronics, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China |
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| Abstract: | Scanning probe microscope(SPM) has been one of the mostly used instruments for nano-tribology investigation of materials.In this paper,the measurement technique of SPM in such investigations is discussed in detail.The nano-tribological behaviors of DLC film are investigated using friction force microscope. |
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| Keywords: | nano-tribology scanning probe microscope measurement technique |
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