| MEMS加速度计温漂预测补偿模型 |
| |
| 引用本文： | 徐哲,刘云峰,董景新.MEMS加速度计温漂预测补偿模型[J].中国惯性技术学报,2012,20(5). |
| |
| 作者姓名： | 徐哲 刘云峰 董景新 |
| |
| 作者单位： | 1. 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;总参陆航研究所,北京101121
2. 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
| |
| 基金项目： | 总装"十二五"预研项目 |
| |
| 摘 要： | 温度漂移是影响MEMS加速度计实用效能的关键问题,为提高加速度计的精度和使用范围,需对温漂进行建模和补偿.首先通过温度循环试验对MEMS加速度计温漂特性进行了分析,然后分别采用曲面拟合法、SVM模型和RVM模型建立了温漂预测补偿模型,最后应用环境温度试验数据对模型进行检验和验证.结果表明:三种方法均能够有效的预测加速度计温漂,补偿后的温漂滞环开口由60 mg分别下降到5 mg、10 mg、1 5 mg.曲面拟合法简单、精度高,但对系统重复性要求高,且对噪声比较敏感；SVM模型法计算能力强,但计算量较大,模型参数较多；RVM模型法模型参数较少,计算量小,但训练时间校长,且预测精度不如其他两种方法高.
|
| 关 键 词： | 微机械加速度计 温漂 滞环 曲面拟合 支持向量机 相关向量机 |
Thermal drift prognosis and compensation model of MEMS accelerometer |
| |
| XU Zhe
,
LIU Yun-feng
,
DONG Jing-xin.Thermal drift prognosis and compensation model of MEMS accelerometer[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2012,20(5). |
| |
| Authors: | XU Zhe LIU Yun-feng DONG Jing-xin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
