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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
透光导电ITO膜的制备及其光电特性的研究
作者姓名:
周引穗
王俊
杨晓东
董庆彦
高爱华
胡晓云
陆治国
作者单位:
1.西北大学物理系,西安,710069
摘 要:
采用溶胶-凝胶方法制备ITO膜,并从制备工艺上研究了各种因素对ITO膜光电特性的影响.最后制出的ITO膜厚度约为50nm,在可见光区平均透射比达97%,最高达99.55%,电阻率在2.0Ω·cm左右,最低达到0.31Ω·cm.
关 键 词:
ITO膜
溶胶-凝胶
光电特性
收稿时间:
2002-06-11
修稿时间:
2002-06-11
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