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透光导电ITO膜的制备及其光电特性的研究
作者姓名:周引穗  王俊  杨晓东  董庆彦  高爱华  胡晓云  陆治国
作者单位:1.西北大学物理系,西安,710069
摘    要:采用溶胶-凝胶方法制备ITO膜,并从制备工艺上研究了各种因素对ITO膜光电特性的影响.最后制出的ITO膜厚度约为50nm,在可见光区平均透射比达97%,最高达99.55%,电阻率在2.0Ω·cm左右,最低达到0.31Ω·cm.

关 键 词:ITO膜  溶胶-凝胶  光电特性
收稿时间:2002-06-11
修稿时间:2002-06-11
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