| 全刻蚀型布拉格波导光栅滤波性能研究 |
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| 引用本文： | 刘启发,朱莉辉,徐许,等. 全刻蚀型布拉格波导光栅滤波性能研究［J］.光子学报,2021,50（11）：1105001DOI：10.3788/gzxb20215011.1105001 |
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| 作者姓名： | 刘启发 朱莉辉 徐许 冯柯瑞 成谢锋 |
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| 作者单位： | 1.南京邮电大学 通信与信息工程学院, 南京 210003;2.南京邮电大学 射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室, 南京 210023 |
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| 基金项目： | China Scholarship Council(201908320061);Postdoctoral Science Foundation Project of China(2018M640507);Open Research Fund of the National and Local Joint Engineering Laboratory of RF Integration and Micro-Assembly Technology(KFJJ20180202) |
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| 摘 要： | 提出了一种基于绝缘层上硅波导的全刻蚀布拉格光栅滤波器。该器件可通过对顶部硅的一步刻蚀来实现,其特性使布拉格波长的调谐更加灵敏和有效。仿真研究结果表明,其一阶和三阶光栅的周期对波长调谐系数分别为33nm/nm和11nm/nm,光栅刻槽折射率对波长的调谐系数为1nm/0.006。将光栅脊与刻槽的小折射率差与高阶光栅相结合,可以实现1550nm波段更窄带宽的全刻蚀光栅滤波器。
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| 关 键 词： | 布拉格光栅 波导滤波器 全刻蚀 有限时域差分仿真 折射率差 波长调谐系数 窄带滤波 |
| 收稿时间： | 2021-04-13 |
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