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| 强激光作用下水冷硅镜沟槽参数的模拟分析 | |
| 作者单位： | 华中科技大学,光电子科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学,光电子科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学,光电子科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学,光电子科学与工程学院,武汉,430074 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 强激光 水冷硅镜 沟槽结构 热变形 有限元法 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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