| 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究 |
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| 引用本文： | 肖宗湖,ZHANG Meng,郭米艳.溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的特性研究[J].人工晶体学报,2008,37(4):1003-1007. |
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| 作者姓名： | 肖宗湖 ZHANG Meng 郭米艳 |
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| 作者单位： | 南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330031 |
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| 基金项目： | 教育部高等学校骨干教师资助计划项目 |
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| 摘 要： | 采用Sol-gel法,在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜.用热分析、XRD、SEM等手段对薄膜样品进行了表征.热分析结果表明:二水醋酸锌-乙醇胺-乙二醇甲醚体系Sol-gel的热分解过程与纯二水合乙酸锌的分解过程大相径庭.ZnO薄膜的Sol-gel分解趋于在较窄的温度范围内一步完成.在Si(111)衬底和玻璃衬底上生长了ZnO薄膜,都表现出明显的c轴择优取向生长.对比了不同涂覆层数对ZnO薄膜结构及表面形貌的影响,ZnO薄膜的c轴择优取向生长特性随着涂覆层数的增加而减弱,这是由于ZnO薄膜的生长模式由层状生长向岛状生长转变所致.ZnO薄膜在可见光范围的透光率超过85;.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 旋转涂覆技术 c轴取向 |
Investigation on Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-gel Progress |
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| XIAO Zong-hu,ZHANG Meng,GUO Mi-yan.Investigation on Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-gel Progress[J].Journal of Synthetic Crystals,2008,37(4):1003-1007. |
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| Authors: | XIAO Zong-hu ZHANG Meng GUO Mi-yan |
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