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| 0.154nmCu Ka射线作用下多层膜矩形光栅组合结构的特性研究 | |
| 引用本文： | 袁利祥,范正修.0.154nmCu Ka射线作用下多层膜矩形光栅组合结构的特性研究[J].光学学报,1996,16(2):01-206. |
| 作者姓名： | 袁利祥 范正修 |
| 摘 要： | 在矩形不栅上镀制软Ｘ射线多层膜，得到了多层膜光栅组合式结构，报道用ＣｕＫａ线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用Ｘ射线运动学理论进行了分析，得到两个衍射条件，分别对应决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理，发现光栅级效率受多层膜反射调制。 |
| 关 键 词： | 多层膜 光栅 衍射特性 软X射线 |
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