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| GaN薄膜的溶胶-凝胶法制备及其表征 | |
| 作者姓名： | 王珊珊 王雪文 阎军峰 邓周虎 段晓峰 赵武 张志勇 |
| 作者单位： | 西北大学 信息学院,西安 710127 陕西省西北大学信息科学与技术学院 陕西省西北大学信息科学与技术学院 中国科学院西安光学精密器械研究所 陕西省西北大学信息科学与技术学院 |
| 基金项目： | 西北大学博士科研启动基金 |
| 摘 要： | 采用溶胶凝胶法成功地制备出氮化镓薄膜.以单质镓为镓源制备镓盐溶液、柠檬酸为络合剂制备出前驱体溶胶,再甩胶于Si(111)衬底上,在氨气氛下热处理制备出GaN薄膜.X射线衍射（XRD）分析及选区衍射分析（SAED）表明所制备的薄膜是六角纤锌矿结构GaN薄膜;XPS分析其表面,结果显示样品中的镓元素、氮元素均以化合态存在,且Ga：N约为1：1;PL谱分析结果表明所制备的薄膜具有优良的发光性能. |
| 关 键 词： | 氮化镓薄膜 溶胶-凝胶 六角纤锌矿结构 |
| 收稿时间： | 2007-09-11 |
| 修稿时间： | 2007-11-23 |
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