|
|||||
|
|
| 气体中微量氧测定 | |
| 引用本文： | 冯强生,葛芝芹,潘淑端,于诗广,曹爱仙.气体中微量氧测定[J].分析化学,1984(1). |
| 作者姓名： | 冯强生 葛芝芹 潘淑端 于诗广 曹爱仙 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所，中国科学院上海冶金研究所 |
| 摘 要： | Hersch电极的商品仪器,最低检出量约0.1ppm左右。但半导体材料研究要求能检出气体中含氧量低至0.02ppm。并要求测定含有掺杂气体中的氧。为此本工作对Hersch电极进行了研究,提出能检测0.005ppm氧的仪器系统。仪器设计仪器结构如图1.为避免反应器中氧在低氧环境中扩散出来,采用玻璃结构。待测气体如含有能和电极起反应的杂质(如As、Zn、Al、P……),应避免待测气体大量通过电极,使电极中毒,采用取样10毫升,然后用纯氩气作载体,读取峰值电流。本仪器测定量为ppm以 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |