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| 矩形水冷压电变形镜的制备与表征 | |
| 引用本文： | 姚琪,罗帆,俞历程,马剑强.矩形水冷压电变形镜的制备与表征[J].宁波大学学报(理工版),2023(4):14-18. |
| 作者姓名： | 姚琪 罗帆 俞历程 马剑强 |
| 作者单位： | 宁波大学机械工程与力学学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（51805280）； |
| 摘 要： | 针对板条激光器射出激光束畸变问题,提出了一种边缘驱动的矩形水冷压电变形镜.首先建立有限元模型对变形镜校正性能和热性能进行仿真,结果显示在功率为10 k W的激光照射下加载冷却条件,变形镜镜面温度降至45℃,冷却效果显著;然后通过实验成功制备了60单元20mm×4 mm口径的变形镜样机,搭建了基于Shack-Hartman传感器的自适应光学测试系统,并对变形镜典型致动器影响函数、校正性能、频率响应特性进行了表征.测试结果显示:变形镜典型致动器在100 V电压驱动下的变形量为1.0～1.5μm,能够较准确重构低阶正弦函数面形,一阶固有频率约为650 Hz.该矩形水冷压电变形镜具备一定的校正能力,在低成本板条激光器校正领域具有一定的应用前景. |
| 关 键 词： | 自适应光学 水冷 压电变形镜 板条激光器 |