| 膜厚度测量的椭偏仪法原理分析 |
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| 引用本文： | 陈篮,周岩. 膜厚度测量的椭偏仪法原理分析[J]. 大学物理实验, 1999, 0(3) |
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| 作者姓名： | 陈篮 周岩 |
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| 作者单位： | 解放军广州通信学院!广州，510502，解放军广州通信学院!广州，510502 |
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| 摘 要： | ![]()
薄膜厚度的测量通常有多种方法，但对超薄的膜厚，要达到较高精确度，且测量手段又较为简洁的，则椭偏仪法是理想的选择。本文对这种测量材料膜厚的光学方法从基本原理、仪器特点、测量过程、样品状态等方面，均作了全面的分析。
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| 关 键 词： | 光学 椭偏仪 薄膜 厚度 |
ANALYSIS OF THE MEASURING PRINCIPLES WITH THE METHOD OF ELLIPTICAL POLARIZING APPARATUS |
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| Chen Lan Zhou Yan. ANALYSIS OF THE MEASURING PRINCIPLES WITH THE METHOD OF ELLIPTICAL POLARIZING APPARATUS[J]. Physical Experiment of College, 1999, 0(3) |
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| Authors: | Chen Lan Zhou Yan |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | optics elliptical polarizing apparatus thin film thickness |
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