| 氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 吕琳,汪建华,翁俊,张莹,崔晓慧. 氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(2): 374-379 |
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| 作者姓名： | 吕琳 汪建华 翁俊 张莹 崔晓慧 |
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| 作者单位： | 武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11175137) |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体化学气相沉积法,以甲烷和氮气为气源,通过改变反应气体中氢气的浓度,在硅衬底上沉积出掺杂氮的超纳米金刚石膜.并利用扫描电子显微镜,拉曼光谱仪,X射线衍射仪,霍尔效应测试仪分别对掺杂氮的超纳米金刚石膜的表面形貌,组成结构及导电性能进行了进行表征,重点研究了氢气浓度对薄膜特性的影响.结果表明:随着氢气浓度的增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大;薄膜的质量提高,且由G峰漂移引起的压应力逐渐减小;薄膜导电性变差.
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| 关 键 词： | 超纳米金刚石 氢气浓度 微波等离子体化学气相沉积 导电性, |
Influence of H2 Concentration on Nitrogen-doped Ultra-nanocrystalline Diamond Thin Films |
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| LV Lin,WANG Jian-hua,WENG Jun,ZHAGN Ying,CUI Xiao-hui. Influence of H2 Concentration on Nitrogen-doped Ultra-nanocrystalline Diamond Thin Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(2): 374-379 |
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| Authors: | LV Lin WANG Jian-hua WENG Jun ZHAGN Ying CUI Xiao-hui |
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