| 泡生法大尺寸蓝宝石晶体的生长速率对固液界面的影响 |
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| 作者姓名： | 王凯 郭余庆 王鸣 葛楠楠 |
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| 作者单位： | 南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室,南京210023;南京师范大学,物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室,南京210023;江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司,泰州225327 |
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| 基金项目： | 江苏省产学研前瞻性联合研究项目(BY2012005) |
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| 摘 要： | 采用有限元法,对泡生法生长蓝宝石晶体不同生长阶段固液界面的形状和温度梯度进行模拟计算,探讨分析了生长速率对放肩、等径阶段蓝宝石生长的影响.结果表明:固液界面凸出度在放肩阶段较大,在等径阶段凸出度相对较小,固液界面温度梯度随着晶体生长不断减小.在合理速率范围内,放肩阶段0～2 mm/h,速率对固液界面的影响很小,等径阶段2～5 mm/h,速率对固液界面的影响越来越大,固液界面温度梯度和形变均随速率的增大而减小.利用模拟结果,调节实际晶体生长工艺参数,成功长出80 kg的大尺寸高质量蓝宝石晶体.
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| 关 键 词： | 泡生法 蓝宝石晶体 有限元 固液界面 生长速率, |
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