| 微波等离子体下GaN的分解与纳米金刚石膜的沉积 |
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| 引用本文： | 田寒梅,刘金龙,陈良贤,魏俊俊,黑立富,李成明.微波等离子体下GaN的分解与纳米金刚石膜的沉积[J].人工晶体学报,2015,44(1):7-12. |
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| 作者姓名： | 田寒梅 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 黑立富 李成明 |
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| 作者单位： | 北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51272024);中国博士后科学基金(2014M550022);中央高校基本科研业务费(FRF-TP-14-042A1);国家自然科学基金(51402013) |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)技术系统地研究了GaN的分解机制.结果表明微波等离子体富氢环境促进了GaN的分解反应,分解过程由表面缺陷开始,向侧面扩展,最后沿氮极性面进行;氢等离子体中通入少量氮气能够显著抑制GaN的分解,在此基础上采用两步生长法成功实现在GaN上纳米金刚石膜的直接沉积.
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| 关 键 词： | 氮化镓 分解 微波等离子体化学气相沉积 纳米金刚石膜 |
Decomposition of GaN and Direct Deposition of Nano-diamond Film in Microwave Plasma |
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| TIAN Han-mei,LIU Jin-long,CHEN Liang-xian,WEI Jun-jun,HEI Li-fu,LI Cheng-ming.Decomposition of GaN and Direct Deposition of Nano-diamond Film in Microwave Plasma[J].Journal of Synthetic Crystals,2015,44(1):7-12. |
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| Authors: | TIAN Han-mei LIU Jin-long CHEN Liang-xian WEI Jun-jun HEI Li-fu LI Cheng-ming |
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