| 双辉等离子体表面冶金金属化CVD金刚石自支撑膜研究 |
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| 引用本文： | 高雪艳,钟强,李晓静,黑鸿君,高洁,申艳艳,贺志勇,刘小萍,于盛旺. 双辉等离子体表面冶金金属化CVD金刚石自支撑膜研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(9): 2385-2389 |
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| 作者姓名： | 高雪艳 钟强 李晓静 黑鸿君 高洁 申艳艳 贺志勇 刘小萍 于盛旺 |
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| 作者单位： | 太原理工大学表面工程研究所,太原,030024;中国兵器科学研究院宁波分院,宁波,315103 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51474154,11405114);山西省自然科学基金(2013011012-4);浙江省公益技术应用项目(2014C31113);宁波市自然科学基金(2014A610012) |
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| 摘 要： | 采用双辉等离子表面冶金技术,在金刚石自支撑膜表面制备了W金属层.借助扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X-射线衍射仪(XRD)等分别对金属化后的金刚石膜的微观形貌、元素分布及物相组成进行了表征与分析;并通过测试Ag-Cu钎焊的金刚石膜-硬质合金刀片样品的剪切强度,评价金属层与金刚石膜的结合强度.实验结果表明:所制备的W金属层连续、致密,由大量纳米尺度的颗粒状团聚物构成;在金属层与金刚石界面一定深度区域内,存在W和C元素的相互扩散,并且反应生成了WC、W2C等金属碳化物颗粒,表明金属层与金刚石膜之间已形成了牢固的化学键合.
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| 关 键 词： | 金刚石自支撑膜 双辉等离子表面冶金技术 W金属层 元素扩散, |
Alloying Modification of Free-standing Diamond Films Treated by Double Glow Plasma Surface Metallurgy Technology |
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