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ZnO/Ag/ZnO多层结构薄膜的光电性质
作者姓名:郭亮  赵东旭  张振中  李炳辉  张吉英  申德振
作者单位:1.中国科学院 激发态物理重点实验室 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春,130033;2.中国科学院 研究生院 北京,100039
基金项目:中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX3.SYW.WOI)资助项目
摘    要:通过磁控溅射方法生长了不同银层厚度的ZnO/Ag/ZnO多层结构的薄膜,并对其形貌、光吸收谱、光致发光和光响应特性进行了比较研究。结果表明ZnO薄膜中银薄层的加入使得光致发光的强度增强。银层厚度为6nm样品制成的器件在350nm处的光响应度为0.06A/W,相对于ZnO薄膜提高了一个数量级。而当银层厚度达到15nm时,光响应度反而下降。

关 键 词:ZnO多层结构  银薄层  光致发光  光响应
收稿时间:2011-03-03
修稿时间:2011-03-21
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