ZnO/Ag/ZnO多层结构薄膜的光电性质 |
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作者姓名: | 郭亮 赵东旭 张振中 李炳辉 张吉英 申德振 |
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作者单位: | 1.中国科学院 激发态物理重点实验室 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春,130033;2.中国科学院 研究生院 北京,100039 |
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基金项目: | 中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX3.SYW.WOI)资助项目 |
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摘 要: | 通过磁控溅射方法生长了不同银层厚度的ZnO/Ag/ZnO多层结构的薄膜,并对其形貌、光吸收谱、光致发光和光响应特性进行了比较研究。结果表明ZnO薄膜中银薄层的加入使得光致发光的强度增强。银层厚度为6nm样品制成的器件在350nm处的光响应度为0.06A/W,相对于ZnO薄膜提高了一个数量级。而当银层厚度达到15nm时,光响应度反而下降。
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关 键 词: | ZnO多层结构 银薄层 光致发光 光响应 |
收稿时间: | 2011-03-03 |
修稿时间: | 2011-03-21 |
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