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| 磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究 | |
| 作者姓名： | 姚舜晖 苏演良 高文显 刘醇鸿 |
| 作者单位： | 长荣大学,会计信息系,台湾,台南,711;成功大学,机械工程系,台湾,台南,701;空军航空技术学院,机械工程系,台湾,高雄,820 |
| 基金项目： | 台湾省科学委员会资助项目 |
| 摘 要： | 采用新型高速反应真空磁控溅射系统制备了氮化钛/氮化铝纳米多层膜,探讨了周期(λ)对多层膜力学性能及抗磨性能的影响;在微钻针及车刀表面分别制备了上述多层膜,并分别对电路板以及中碳钢棒进行实机加工测试,以验证其实用性.结果表明:通过控制溅射参数可以制备出周期范围为2.4～67.6nm的氮化钛/氮化铝多层膜;当周期λ≤3.6nm时,相应的多层膜具有较高的硬度、良好的粘附性能及优异的抗磨性能.实机测试结果显示,所制备的多层膜可以改善金属车削和微钻削加工条件,改善程度优于单层氮化钛镀膜. |
| 关 键 词： | 氮化钛/氮化铝纳米多层膜 周期 耐磨性 车削 微钻削 |
| 文章编号： | 1004-0595(2005)03-0258-07 |
| 修稿时间： | 2004-09-06 |
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