|
|||||
|
|
| 衍射元件表面粗糙度对衍射效率的影响 | |
| 作者姓名： | 赵丽东 崔庆丰 毛珊 赵渊明 朴明旭 胡洋 |
| 作者单位： | 1.长春理工大学 光电工程学院,长春,130022 |
| 基金项目： | 国家重大科技专项高分专项(No.51-H34D01-8358-13/16)资助() |
| 摘 要： | 基于多层衍射光学元件的位相延迟表达式,提出了单点金刚石车削影响下的多层衍射光学元件衍射效率和带宽积分平均衍射效率的数学模型,并给出了相应的分析表达式.以基底材料分别是硒化锌和硫化锌构成的多层衍射光学元件在近红外波段（1.4~2.5m）的应用为例进行分析.结果表明表面粗糙度会导致多层衍射光学元件衍射效率和带宽积分平均衍射效率的明显降低,从而降低了混合成像光学系统的成像质量.因此,单点金刚石车削衍射元件时,要根据使用需求制定合理的表面粗糙度加工误差. |
| 关 键 词： | 微结构加工 光学系统设计 衍射效率 表面粗糙度 衍射光学 红外系统 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《光子学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《光子学报》下载全文 | |