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透明衬底光致导电网栅的设计与制作
作者姓名:王君  冷雁冰  孙艳军  纪雪松  王丽  王越
作者单位:1.长春理工大学 光电工程学院 光电工程国家级实验教学示范中心,长春,130022
基金项目:国家自然科学基金(Nos.11474037,11474041)资助()
摘    要:依据半导体光电导效应分析了光致导电复合网栅调控机理,阐明了光致导电复合网栅的设计思路与结构特点.结合透明衬底蓝宝石基片,选取雷达波2~18GHz,红外3~12

关 键 词:红外  光致导电  光刻  光学表面  复合网栅
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