| 透明衬底光致导电网栅的设计与制作 |
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| 引用本文： | 王君,冷雁冰,孙艳军,纪雪松,王丽,王越.透明衬底光致导电网栅的设计与制作[J].光子学报,2018(9). |
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| 作者姓名： | 王君 冷雁冰 孙艳军 纪雪松 王丽 王越 |
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| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院光电工程国家级实验教学示范中心;辽沈工业集团有限公司 |
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| 摘 要： | 依据半导体光电导效应分析了光致导电复合网栅调控机理,阐明了光致导电复合网栅的设计思路与结构特点.结合透明衬底蓝宝石基片,选取雷达波2~18GHz,红外3~12μm波段为研究对象对复合网栅结构参数进行优化和仿真,当网栅参数周期由5mm变为2.5mm、边长由4.9mm变为2.4mm时,网栅的中心谐振频率从13.2GHz变为14GHz.采用衍射光栅同轴对准原理保证两次lift-off光刻工艺的对准精度,制备的网栅周期误差小于6μm,边长误差小于5μm,满足实验要求.复合网栅的光学和电学性能测试结果为:加载复合网栅的蓝宝石衬底样件与未加载的相比,红外透过率曲线整体走势未发生变化,透过率整体下降了7.8%左右,与单独金属网栅相比相差3.4%,符合红外透过损失规律.该复合网栅在敏感波长为600nm光照射下测得的中心谐振频率从13.22GHz变为14.03GHz,与仿真结果基本一致,验证了光照对复合网栅电磁性能调控的可行性.
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