| 石墨烯/二氧化钛异质结场效应探测器光电特性 |
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| 作者姓名： | 周全 张恩亮 白向兴 申钧 魏大鹏 汪岳峰 |
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| 作者单位： | 1.中国人民解放军陆军工程大学 电子与光学工程系,石家庄,050003 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(Nos.11404329,61504148,51402291,61705229)^重庆市自然科学基金(No.CSTC2014jcyjjq50004)^重庆市基础科学与前沿技术研究专项基金(No.cstc2015jcyjA50018)^重庆市基础与前沿研究项目(No.cstc2015jcyjBX0046)资助() |
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| 摘 要： | 利用二氧化钛薄膜光吸收及表面钝化特性,在硅晶圆基底表面制备石墨烯/二氧化钛异质结场效应管光电探测器,并研究其光电响应特性.结果表明,二氧化钛钝化后的探测器可以有效抑制沟道表面的气体小分子吸附,降低器件的暗电流漂移;同时,探测器利用石墨烯的电荷敏感和复合薄膜的光谱吸收特性,显著提高了石墨烯场效应管的响应度.紫外波段,顶层二氧化钛吸光产生的光生电子将注入到石墨烯沟道中,对石墨烯沟道产生n型掺杂,器件最大响应度可达3.5×10
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| 关 键 词： | 背栅调制 场效应管 石墨烯 光电探测器 耦合 异质结 载流子寿命 |
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