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| 一步法紫外曝光制备TiO2光敏凝胶光栅的初步研究 | |
| 作者姓名： | 周斌 邱恒山 刘小林 沈军 吴广明 孙骐 黄耀东 艾琳 |
| 作者单位： | 同济大学 波耳固体物理研究所,上海 200092 |
| 基金项目： | 国家863计划项目资助课题 |
| 摘 要： | 以钛酸丁酯和苯甲酰丙酮为原料,经sol-gel工艺,获得具有负性光刻胶性质的TiO2光敏凝胶薄膜。它的敏感波长在360nm附近,与反应生成的螯合环有关。结合掩模曝光和显影工艺,将条状或网格状的光栅图形引入光敏凝胶表面,获得光敏凝胶光栅。 |
| 关 键 词： | 敏凝胶 紫外曝光 掩模 溶胶-凝胶工艺 |
| 文章编号： | 1001-4322(2004)03-0305-04 |
| 收稿时间： | 2003-10-17 |
| 修稿时间： | 2003-10-17 |
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