| 高精度温控退火炉的研制与控温程序的调试 |
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| 引用本文： | 梁玲,顾牡,许伟群,陈玲燕.高精度温控退火炉的研制与控温程序的调试[J].人工晶体学报,2002,31(4):420-424. |
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| 作者姓名： | 梁玲 顾牡 许伟群 陈玲燕 |
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| 作者单位： | 同济大学玻耳固体物理研究所,上海,200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.19774043);上海市教委重点学科发展基金和教育部高等学校骨干教师资助计划项目;上海市教育委员会青年教师(No.01QN18)资助项目 |
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| 摘 要： | 晶体退火是一个重要的工艺过程,不同温度、不同气氛下的退火处理是晶体缺陷研究的重要手段.本文从退火炉的整体构造、管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置,并针对典型的晶体退火过程详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调试工作.
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| 关 键 词： | 退火 可编程温度控制器 PID调节 |
| 文章编号： | 1000-985(2002)04-0420-05 |
| 修稿时间： | 2002年3月15日 |
Preparation of a Temperature-controlled Annealing Furnace with High Precision and Debugging of the Temperature Control Program |
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