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环会切磁场大面积ECR等离子体源

引用本文：	一弓.环会切磁场大面积ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1996(10):8-9.

作者姓名：	一弓

摘要：
关键词：	电子回旋共振等离子体源
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