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计算机控制的可变等离子体溅射源

引用本文：	张殿莉.计算机控制的可变等离子体溅射源[J].等离子体应用技术快报,1996(6):7-8.

作者姓名：	张殿莉

摘要：
关键词：	等离子体涂层溅射源计算机控制
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