|
|||||
|
|
| 金刚石线锯切割多晶硅片的气相制绒研究 | |
| 作者姓名： | 刘小梅 陈文浩 李妙 周浪 |
| 作者单位： | 1.南昌大学 太阳能光伏研究院,南昌,330031 |
| 基金项目： | 江西省光伏科技重大专项计划课题(No.2009AZD10301)资助 |
| 摘 要： | 采用气相制绒方法对金刚石切割多晶硅片进行表面制绒.2g硅加到HF-HNO |
| 关 键 词： | 反射率 多晶硅 气相制绒 金刚石线锯切割 切割纹 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《光子学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《光子学报》下载全文 | |
|
||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |