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空间域相位调制干涉仪用于微位移测量
引用本文:巩稼民 梁青. 空间域相位调制干涉仪用于微位移测量[J]. 应用光学, 1999, 20(2): 40-44
作者姓名:巩稼民 梁青
作者单位:[1]西安交通大学电信学院 [2]西安邮电学院电信系
摘    要:本文从波动光学的干涉理论出发,描述了空间域相位调制干涉测量位移的原理。给出干涉仪的系统构成原理。比较空间域相位调制与时间域相位调制的异同点。指出空间域相位调制的特点。提出空间域相位调制干涉仪的两种工作状态,即单条纹和双条纹工作状态。最后给出位移测量结果。

关 键 词:干涉仪 空间域相位调制 微位移测量

SPATIAL PHASE MODULATION INTERFEREMETERY FOR MICRODISPLACEMENT MEASUREMENT
Gong Jiamin Wang Qikun. SPATIAL PHASE MODULATION INTERFEREMETERY FOR MICRODISPLACEMENT MEASUREMENT[J]. Journal of Applied Optics, 1999, 20(2): 40-44
Authors:Gong Jiamin Wang Qikun
Abstract:This paper describes the principle of the interferemetry based on the spatial phase modulation technique with the wave optic theory. It also describes the interfermenter based on the spatial phase modulation technique, which can be used to measure the microdisplacement, and suggests the two measuring ways of the interferemeter that are the mono stripe way and the dual stripe way. At last, the measuring result of the microdisplacemen is given.
Keywords:interferemeter   spatial phase modulation   microdisplacement measurement
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