| 基于马赫曾德干涉光路的光压测量装置设计 |
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| 引用本文： | 赵静,林鸿湘,邱棠,陈静芳. 基于马赫曾德干涉光路的光压测量装置设计[J]. 光子学报, 2016, 0(6): 68-74. DOI: 10.3788/gzxb20164506.0612002 |
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| 作者姓名： | 赵静 林鸿湘 邱棠 陈静芳 |
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| 作者单位： | 华南农业大学电子工程学院,广州,510000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.60908038)资助 The Natural Science Foundation of China (No.60908038) |
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| 摘 要： | 基于马赫曾德干涉原理,设计搭建了可调制与放大干涉条纹的光压测量装置.由频率和功率可调制脉冲激光产生光压,使真空中两面高反镀铝薄膜产生微小形变(位移),从而使由氦氖激光器发射、经半反半透镜分束的参考光和信号光的光程差改变,即干涉条纹发生改变.用CCD记录干涉条纹位移量,数据处理获得干涉条纹位移量和薄膜形变量的关系,计算出脉冲激光在薄膜处的光压.分别讨论了脉冲激光入射角度、频率等参量对检测结果的影响,并通过双角度入射方法消除了热辐射效应的影响.该检测装置可测得最小光功率为15.0mW所产生的光压大小为13.42μPa,线性工作范围为15.0mW(13.42μPa)至200mW(1179μPa),且工作稳定、灵敏度高,测量结果准确.
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| 关 键 词： | 应用光学 光学技术与仪器 马赫曾德干涉仪 光压测量 压力传感器 激光干涉测量 薄膜 脉冲调制 |
Light Pressure Measuring Based on Device of Mach-Zehnder Interference |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Applied optics Optical technique and instrument Mach-Zehnder interferometers Light pressure detection Pressure sensors Laser interferometry Thin films Pulse modulation |
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