| 钛铪酸钡薄膜的制备与形貌 |
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| 引用本文： | 余娟,李丹,周恒为,瞿腾飞,尹红梅.钛铪酸钡薄膜的制备与形貌[J].人工晶体学报,2018,47(9):1887-1891. |
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| 作者姓名： | 余娟 李丹 周恒为 瞿腾飞 尹红梅 |
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| 作者单位： | 伊犁师范学院物理科学与技术学院,新疆凝聚态相变与微结构实验室,伊宁 835000;伊犁师范学院物理科学与技术学院,新疆凝聚态相变与微结构实验室,伊宁 835000;南京大学物理学院,国家固体微结构重点实验室,南京 210093 |
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| 基金项目： | 新疆自然科学基金(2015211C296) |
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| 摘 要： | 溶胶-凝胶工艺在(100)Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了BaHfxTi1-xO3(x=0.005,0.01,0.02)薄膜.通过X射线衍射仪、拉曼光谱对薄膜微观结构进行了测试,采用APEX型多功能力学测试系统的3D显微镜模块和SEM对薄膜表面粗糙和厚度进行了表征.结果表明:薄膜中Hf4+进入BaTiO3晶格中,且BaHfxTi1-xO3具有明显的(200)取向,当x=0.005时取向度最大(1.94),晶粒尺寸最小(21.34 nm);薄膜拉曼光谱发现随Hf4+含量的增加BaHfxTi1-xO3薄膜各光学声子模对应的拉曼振动模式峰都发生了蓝移,显示出四方相的特征谱,四方相的程度随Hf含量的增大而减弱;所有薄膜表面较平整,均方根粗糙度(RMS)在21～26 nm之间.
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| 关 键 词： | 钛铪酸钡薄膜 微观结构 表面形貌 |
Preparation and Morphology of BaHfxTi1 -xO3 Thin Films |
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| YU Juan,LI Dan,ZHOU Heng-wei,QU Teng-fei,YIN Hong-mei.Preparation and Morphology of BaHfxTi1 -xO3 Thin Films[J].Journal of Synthetic Crystals,2018,47(9):1887-1891. |
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| Authors: | YU Juan LI Dan ZHOU Heng-wei QU Teng-fei YIN Hong-mei |
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