| 基于模型复制法的金刚石微结构制备研究 |
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| 引用本文： | 袁佳晶,卢文壮,王红军,徐锋,左敦稳.基于模型复制法的金刚石微结构制备研究[J].人工晶体学报,2010,39(5):1141-1145. |
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| 作者姓名： | 袁佳晶 卢文壮 王红军 徐锋 左敦稳 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江苏省自然科学基金 |
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| 摘 要： | CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景.金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术.本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉积金刚石膜的方法成功制作了微细梁、微圆柱、十字结构、文字图形等一系列金刚石微结构.Raman、SEM、ADE等多种理化分析结果表明采用这种模型复制工艺能够获得表面质量好、图形复杂、形状和尺寸精度很高的金刚石微结构,并能够实现批量制造,是制作金刚石微器件的理想方法.
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| 关 键 词： | CVD金刚石 模型 微结构 HFCVD |
Study on Fabrication of Diamond Microstructure Based on Model Replication Technique |
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| YUAN Jia-jing,LU Wen-zhuang,WANG Hong-jun,XU Feng,ZUO Dun-wen.Study on Fabrication of Diamond Microstructure Based on Model Replication Technique[J].Journal of Synthetic Crystals,2010,39(5):1141-1145. |
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| Authors: | YUAN Jia-jing LU Wen-zhuang WANG Hong-jun XU Feng ZUO Dun-wen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HFCVD |
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