高折射率厚平面光波导与光纤的水平耦合技术研究

光纤与平面光波导高效耦合是光波导器件互联设计中的重要环节，常用的倒锥波导已经解决了光纤与波导芯片之间的模式不匹配问题。然而，高折射率差波导与光纤耦合时通常需要较小的尖端尺寸(<180 nm),加工复杂且波导易坍塌。设计了一种宽波段(可见光和近红外波段)光纤-波导水平耦合器，通过引入聚合物SU-8锥形结构，提高了三端口分支波导的线宽，实现了850 nm波段超过300 nm的1 dB有效带宽。