基于频分复用技术的激光反馈干涉二维动态位移测量

提出了一种基于频分复用技术的激光反馈干涉二维动态位移测量方法。激光器输出的光被分为两路，分别以±1级自准直衍射角入射至反射光栅，并沿原光路返回至腔内产生激光反馈干涉效应。在±1级衍射光路中放置电光晶体对光束相位进行高频调制，利用频分复用技术实现二维动态位移的测量。实验结果表明，所提方法能够重构出物体的二维动态位移，位移分辨率可达10 nm量级。所提方案通过在激光反馈干涉仪中引入衍射光栅，提高了激光反馈干涉测量系统的稳定性和抗环境干扰能力，同时也为使用单光源进行多维度微位移测量提供了新的思路。