| 光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感技术研究进展 |
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| 作者姓名： | 李自亮 廖常锐 刘申 王义平 |
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| 作者单位： | 深圳大学光电工程学院, 光电子器件与系统教育部重点实验室, 深圳 518060 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（批准号：61635007,61425007,61377090,61575128）、广东省自然科学基金（批准号：2014A030308007,2014B050504010,2015B010105007,2015A030313541）、深圳市科技创新委员会项目（批准号：GJHZ2015031309375575,JCYJ20160520163134575,JCYJ20160427104925452）和珠江学者项目资助的课题. |
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| 摘 要： | 光纤法布里-珀罗干涉温度和压力传感器具有灵敏度高、制作简单、成本低、体积小和抗电磁干扰能力强等优点,已被广泛应用于军事和民用领域.在某些环境恶劣,如具有强电磁干扰和腐蚀性,或提供给传感器的安装空间非常有限的特殊工业领域,微型光纤温度和压力传感器发挥着重要的作用,国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究.本文综述了光纤法布里-珀罗干涉仪的基本原理、制备技术、及其压力和温度传感应用的研究进展.详细介绍了湿法化学腐蚀制备法、电弧放电制备法、飞秒激光制备法、聚合物辅助制备法等常见光纤法布里-珀罗腔传感器的制作工艺,分析了不同制作工艺的优缺点;详细介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪在温度传感、压力传感和温压一体传感领域的应用;最后对光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感器的发展进行了总结和展望.
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| 关 键 词： | 光纤传感器 法布里-珀罗干涉仪 温度传感器 压力传感器 |
| 收稿时间： | 2017-01-19 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
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