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| GaAs电阻的压电调制效应 | |
| 作者姓名： | 黄庆安 童勤义 |
| 作者单位： | 东南大学微电子中心 南京 210018 |
| 摘 要： | 木文提出了GaAs电阻的压电调制概念。用悬臂梁的例子,从理论和实验上研究了GaAs电阻的压电调制效应,并指出该效应与应力梯度有关。 |
| 关 键 词： | 传感器 GaAs器件 压电效应 |
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