| 化学气相法生长ZnO单晶的热动特性研究 |
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| 引用本文： | 彭柱,曾体贤,陈太红,彭丽萍,王新明,王雪敏,吴卫东. 化学气相法生长ZnO单晶的热动特性研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(1): 64-67 |
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| 作者姓名： | 彭柱 曾体贤 陈太红 彭丽萍 王新明 王雪敏 吴卫东 |
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| 作者单位： | 西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充,637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 中国博士后科学基金(2013M542294);四川省教育厅重点项目(01ZB089);西华师范大学基本科研基金资助项目(13C008) |
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| 摘 要： | 研究了ZnO-C体系化学气相法生长ZnO单晶的Zn、CO、O2、CO2、ZnO气体热力学平衡过程,计算发现主要气相物种为Zn,CO.分析了Zn和CO在N2,Ar,He气体中的扩散系数,发现Ar气既可抑制Zn物质流传输,又可减缓Zn扩散系数随温度升高而递减的趋势,是较适宜的外加气体.建立了ZnO单晶气相生长一维传输模型,揭示了Zn的动力学输运过程,获取了三个温度梯度下(氩气背景压力分别为0 atm、0.5 atm、1 atm)Zn的物质流密度,以及温度梯度、背景压力对最大生长速率的影响.
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| 关 键 词： | ZnO单晶 化学气相法 热力学 动力学, |
Investigation on Thermokinetics Property of ZnO Single Crystal Grown by CVT Method |
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| PENG Zhu,ZENG Ti-xian,CHEN Tai-hong,PENG Li-ping,WANG Xin-ming,WANG Xue-min,WU Wei-dong. Investigation on Thermokinetics Property of ZnO Single Crystal Grown by CVT Method[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(1): 64-67 |
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| Authors: | PENG Zhu ZENG Ti-xian CHEN Tai-hong PENG Li-ping WANG Xin-ming WANG Xue-min WU Wei-dong |
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