| 纳米器件的制备、表征及其应用 |
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| 引用本文： | 王太宏,赵继刚,傅英,李宏伟,李卫,王春花,王振霖,庞科,刘淑琴,符秀丽.纳米器件的制备、表征及其应用[J].物理,2002,31(1):4-6. |
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| 作者姓名： | 王太宏 赵继刚 傅英 李宏伟 李卫 王春花 王振霖 庞科 刘淑琴 符秀丽 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 :6 992 5 410 1990 40 15 ) |
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| 摘 要： | 利用建立的常规光刻法的纳米加工工艺系统，研制碳纳米管晶体管，单电子晶体管和单电子晶体集成的纳米器件，研制出了90K的单电子晶体管，实现了两单电子晶体管的电容耦合集成，多个单电子晶体管的串联集成以及单电子晶体管与传统器件的集成。
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| 关 键 词： | 纳米器件 碳纳米管晶体管 单电子晶体管 纳米加工 制备 表征 |
| 修稿时间： | 2001年9月3日 |
CHARACTERIZATION AND DEVELOPMENT OF NANODEVICES |
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| WANG Tai\|Hong\ ZHAO Ji\|Gang\ FU Ying\ LI Hong\|Wei\ LI Wei\ WANG Chun\|Hua,WANG Zhen\|Lin\ PANG Ke\ LIU Shu\|Qin\ FU Xiu\|Li.CHARACTERIZATION AND DEVELOPMENT OF NANODEVICES[J].Physics,2002,31(1):4-6. |
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| Authors: | WANG Tai\|Hong\ ZHAO Ji\|Gang\ FU Ying\ LI Hong\|Wei\ LI Wei\ WANG Chun\|Hua WANG Zhen\|Lin\ PANG Ke\ LIU Shu\|Qin\ FU Xiu\|Li |
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| Abstract: | The fabrication of carbon nanotube field\|effect transistors, single\|electron transistors and their integrated circuits is reported. A single\|electron transistor has been successfully fabricated which can operate to 90K. Integration of two single\|electron transistors by capacitive coupling has been realized. Integration of a series of single\|electron transistors as well as a single\|electron transistor to a high electron mobility transistor has been achieved. |
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| Keywords: | nanodevices carbon nanotube field\|effect transistors single electron transistors nanofabrication |
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