| 柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能 |
| |
| 作者姓名： | 王娜娜 于军胜 林慧 黄春华 蒋亚东 |
| |
| 作者单位： | 1.电子科技大学光电信息学院, 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都,610054 |
| |
| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金
,
教育部新世纪优秀人才支持计划
,
电子科技大学中青年学术带头人计划
|
| |
| 摘 要： | 在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)柔性衬底上采用直流磁控溅射技术制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了衬底温度、溅射功率和溅射压强等工艺条件对薄膜光电性能的影响,并利用原子力显微镜(AFM)表征了衬底及ITO薄膜的表面形貌.结果表明,在PET衬底温度50℃、溅射功率100W和溅射压强2.66×10-1Pa的条件下,可以得到低方阻(50Ω/□)和高透过率(＞90%)的透明导电薄膜.以此柔性ITO衬底为阳极,制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq3/Mg:Ag的柔性有机电致发光器件,在驱动电压为13V时,器件的发光亮度达到了2834cd/m2.
|
| 关 键 词： | 有机电致发光器件 柔性基板 氧化铟锡薄膜 直流磁控溅射 |
| 收稿时间： | 2008-01-18 |
| 修稿时间： | 2008-02-20 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《发光学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《发光学报》下载全文 |
|
