介绍一种用全息实时干涉技术测量直线度的系统 |
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引用本文: | 祝德顺,杜隆安.介绍一种用全息实时干涉技术测量直线度的系统[J].应用光学,1987(1). |
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作者姓名: | 祝德顺 杜隆安 |
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摘 要: | 1.引论利用全息实时干涉技术测量直线度的新方法已取得新的进展。其原理方法是一个工作台置于导轨上并沿其移动,当工作台位移时就有很多等倾干涉条纹产生。依据这些干涉条纹的形状和数量即可作定性、定量的测量。这个系统的优点是,在垂直移动路程的平面内进行测量,而当作横向位移时,二维方向(水平和垂直方向)的直线度也同时能够
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