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| 自支撑软X射线针孔透射光栅研究 | |
| 引用本文： | 傅绍军,洪义麟.自支撑软X射线针孔透射光栅研究[J].光学学报,1994,14(1):12-112. |
| 作者姓名： | 傅绍军 洪义麟 |
| 作者单位： | 中国科技大学国家同步辐射实验室 |
| 基金项目： | 中国科技大学首届青年基金 |
| 摘 要： | 本文报道了在研制聚酰亚胺衬底的软Ｘ射线透射光栅的基础上＾［１］，采用全息－离子束刻蚀方法和微电镀技术研制成功了无衬底自支撑的软Ｘ射线针孔透射光栅，简要地介绍了工艺过程并给出了实验结果。 |
| 关 键 词： | 离子束刻蚀 软X射线 透射光栅 |
| 收稿时间： | 1993/9/23 |
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