| 界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响 |
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| 引用本文： | 王飞,刘望,邓爱红,朱敬军,安竹,汪渊.界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响[J].物理学报,2013,62(18):186801-186801. |
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| 作者姓名： | 王飞 刘望 邓爱红 朱敬军 安竹 汪渊 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学原子核科学技术研究所, 教育部辐射物理及技术重点实验室, 成都 610064;2. 四川大学物理科学与技术学院物理系, 成都 610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，四川省科技支撑计划基金，教育部新世纪人才基金( |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射方法, 在混合气氛下制备了ZrN/TaN多层膜. 利用X射线衍射、慢正电子束分析、增强质子背散射、扫描电子显微镜, 分别对ZrN/TaN多层膜中相结构、氦相关缺陷、氦含量、截面形貌等进行了分析. 结果表明, 调制周期为30 nm的ZrN/TaN多层膜在600℃退火后, 氦的保持率仍能达到45.6%. 在适当的调制周期下, ZrN/TaN多层膜能够耐氦损伤并且其界面具有一定的固氦性能.
关键词：
ZrN/TaN
纳米多层膜
界面
固氦
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| 关 键 词： | ZrN/TaN 纳米多层膜 界面 固氦 |
| 收稿时间： | 2013-04-28 |
Interface effects on helium retention properties of ZrN/TaN nano-multilayers |
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| Wang Fei
,
Liu Wang
,
Deng Ai-Hong
,
Zhu Jing-Jun
,
An Zhu
,
Wang Yuan.Interface effects on helium retention properties of ZrN/TaN nano-multilayers[J].Acta Physica Sinica,2013,62(18):186801-186801. |
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| Authors: | Wang Fei Liu Wang Deng Ai-Hong Zhu Jing-Jun An Zhu Wang Yuan |
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| Abstract: | In this paper, ZrN/TaN nano-multilayers are fabricated in mixing atmosphere by radio frequency magnetron sputtering. The phase structures, He-related defects, helium content and cross-section morphologies of ZrN/TaN nano-multilayers are characterized by X-ray diffraction, slow positron beam analysis, enhanced proton backscattering spectrome and scanning electron microscope, respectively. The results show that the interface of ZrN/TaN nano-multilayer with 30 nm modulation period is stable and could resist the damage of helium even annealed at 600℃. The He retention rate of ZrN/TaN nano-multilayer with 30 nm modulation period can reach up to 45.6%.
Keywords：
ZrN/TaN
nano-multilayer
interface
helium retention |
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| Keywords: | ZrN/TaN nano-multilayer interface helium retention |
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